廣東芯片無塵車間施工流程-tft每日頭條

芯片制造屬于光電半導體行業，有專門的芯片無塵車間廠房，其生産車間需要達到百級無塵車間。制造芯片到底有多難？制作一顆芯片的生産線是非常複雜的，大約會涉及到五十個行業、2000-5000個工序；就拿代工廠來說，需要先将“砂子”提純成矽，再切成晶元，然後加工晶元；晶元加工廠包含前後兩道工藝，前道工藝分幾大模塊——光刻、薄膜、刻蝕、清洗、注入；後道工藝主要是封裝——互聯、打線、密封；光刻是制造和設計的紐帶；其中許多工藝都在獨立的工廠進行，而使用的設備也需要專門的設備廠制造；使用的材料包括幾百種特種氣體、液體、靶材，都需要專門的化工工業；另外，集成電路的生産都是在超淨無塵車間進行的，因此還需要排風和空氣淨化等系統。

廣東芯片無塵車間施工流程（怎麼建造一個百級芯片無塵車間廠房）1

芯片廠對于生産環境的空氣潔淨度非常挑剔，就算是一粒小小的粉塵，粘在芯片上也可能造成短路，進而直接影響成品率；粉塵的危害尚且如此，空氣中的化學污染就更不用說了；因此，芯片生産一般是在無塵室中進行，并且生産芯片的無塵車間潔淨度必須達到百級。潔淨度百級無塵車間的标準：大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的塵粒數為0；微生物最大允許數：浮遊菌每立方米不能超過5個；溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布FFU，做高架地闆；做MAU FFU DC系統，還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右；百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上；百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35 m/s；百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。

廣東芯片無塵車間施工流程（怎麼建造一個百級芯片無塵車間廠房）2

以上就是芯片無塵車間制造需要達到百給無塵車間的一些基本參數。

廣東芯片無塵車間施工流程（怎麼建造一個百級芯片無塵車間廠房）3

弘炜淨化工程專業從事100-30萬級無塵車間廠房裝修，承接芯片無塵車間、半導體無塵車間、氣體激光無塵車間、光學無塵車間等淨化工程。