羅茨泵是指泵内裝有兩個相反方向同步旋轉的葉形轉子，轉子間、轉子與泵殼内壁間有細小間隙而互不接觸的一種變容真空泵。羅茨泵機組是指以羅茨泵為主泵，前級泵為水環泵等可直抽、直排大氣的真空泵串聯而成的真空機組。以下簡要介紹了羅茨泵及其機組常見故障及處理方法。
一、羅茨泵故障原因及處理方法
羅茨泵故障原因及處理方法見下表：
二、羅茨水環泵真空機組
羅茨水環泵真空機組主泵是羅茨泵，前級泵是水環泵或油環泵。主要用于真空壓力浸漬和真空冷凍幹燥等設備中。羅茨水環泵機組常見的故障及處理方法如下表：
三、羅茨滑閥泵或羅茨旋片泵機組
羅茨滑閥泵或羅茨旋片泵機組主泵為羅茨泵，前級泵采用滑閥泵或旋片泵。在1×10-3~10Pa範圍内有大抽速，結構緊湊，消耗功率小。真空機組常見故障及處理方法見下表。
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