真空泵油的更換并不是說簡單的将真空泵油排放掉然後再注入新的泵油即可，在更換泵油時還需要注意對泵内部的殘留雜質的清洗。
葉片分子真空泵。抽象工業背景。Blades molecular vacuum pump.
真空泵連續使用3～4 個月以後，即應更換真空泵油。在濕度較大的環境下使用，這裡是指被抽容器裡的濕度，舉例說，在外界濕度很大的情況下，經常暴露大氣後恢複抽氣，這時就說濕度比較大。如果在外界濕度比較大的情況下，機械泵一直抽一台一直保持真空的設備，那抽再長時間也不需要更換泵油。所以說在濕度比較大的情況下，應酌情縮短換油期。換下的油可經清潔去濕處理後再用。
換油方法如下：将泵從系統上拆下，用幹淨的方盤接在放油孔下，旋下注油塞和放油塞，放出污油,斷續啟動電機4～6 次，使各真空小室内的油全部排出。然後從各抽氣管加入幹淨的真空泵油200～300CC，斷續啟動電動機，再次清洗各真空室。
這樣，經2～3 次重複清洗，放光清洗用油,旋上放油塞，從注油塞處加入幹淨的真空泵油到視窗孔的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。
換油最好在油溫升高後進行。對泵嚴禁用煤油、汽油、酒精等作非拆卸的清洗；平時也要注意保護進氣口，檢查濾網， 防止灰塵、雜質進入泵内，弄污泵油、損壞真空室。
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