蒸餾法是将含有芳香物質的植物部分（花朵、葉片、木屑、樹脂、根皮等）放入一個大容器（蒸餾器），放在容器底部，加熱燃燒或通入蒸汽。當炙熱的蒸氣充滿在容器裡，精油就會因蒸汽的熱度而突破植物的儲油細胞釋放出來，而帶有植物精油的水蒸氣通過上方的冷凝管進入冷凝器内，蒸汽冷卻轉化為油水混合液後流入油水分離器。再依比重與密度的差異，分離為精油與水。水分當中或多或少都有些精油溶在裡面，就是所謂的“花水”，也稱為“純露”。接着用分液漏鬥進一步把精油和純露分開存放。
蒸餾法萃取精油
蒸餾法是萃取芳香植物精油最常用的方法，95%的芳香植物精油是由蒸餾法萃取而得。蒸餾法的優勢是器材相對簡單和成本相對低廉，但是這種方法有可能減損精油香味和部分化學成分。
蒸餾法适用于玫瑰油、薄荷油等揮發性較強，不溶于水的芳香油。
蒸餾法又分為水上蒸餾、水中蒸餾、水蒸氣蒸餾，應該根據不同的原料的特性選擇蒸餾方法。
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