1、用石英砂和焦炭高溫反應生成工業矽;
2、工業矽加上氯化氫反應生成三氯化矽;
3、将三氯化矽精餾生成高純度三氯化矽;
4、用高純度三氯化矽和高純度氫反應生成多晶矽;
5、多晶矽高溫熔融冷卻後生成單晶矽。
如上便是工業制矽的方法。