光刻技術的原理：集成電路制造中利用光學、化學反應原理和化學、物理刻蝕方法，将電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術。
随着半導體技術的發展，光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2至3個數量級，已從常規光學技術發展到應用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術；使用波長已從4000埃擴展到 0.1埃數量級範圍。
光刻技術的原理是什麼
更新时间：2024-10-14 09:10:07
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