1、經營者申請。設施農業經營者應拟定設施建設方案，方案内容包括項目名稱、建設地點、用地面積，拟建設施類型、數量、标準和用地規模等；并與有關農村集體經濟組織協商土地使用年限、土地用途、補充耕地、土地複墾、交還和違約責任等有關土地使用條件。協商一緻後，雙方簽訂用地協議。經營者持設施建設方案、用地協議向鄉鎮政府提出用地申請。
2、鄉鎮申報。鄉鎮政府依據設施農用地管理的有關規定，對經營者提交的設施建設方案、用地協議等進行審查。符合要求的，鄉鎮政府應及時将有關材料呈報縣級政府審核；不符合要求的，鄉鎮政府及時通知經營者，并說明理由。涉及土地承包經營權流轉的，經營者應依法先行與農村集體經濟組織和承包農戶簽訂土地承包經營權流轉合同。
3、縣級審核。縣級政府組織農業部門和國土資源部門進行審核。農業部門重點就設施建設的必要性與可行性，承包土地用途調整的必要性與合理性，以及經營者農業經營能力和流轉合同進行審核，國土資源部門依據農業部門審核意見，重點審核設施用地的合理性、合規性以及用地協議，涉及補充耕地的，要審核經營者落實補充耕地情況，做到先補後占。符合規定要求的，由縣級政府批複同意。
4、設施農用地審核同意後，鄉鎮政府具體監督設施建設和用地協議的實施，縣級國土資源部門做好土地變更調查、登記和台帳管理等相關工作，縣級農業部門做好土地承包合同變更和流轉合同備案、登記等工作。
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