真空冷凍幹燥，也稱升華幹燥。其原理是将材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然後在真空下使冰升華而達到幹燥目的。
與其它幹燥方法一樣，要維持升華幹燥的不斷進行，必須滿足兩個基本條件，即熱量的不斷供給和生成蒸汽的不斷排除。在開始階段，如果物料溫度相對較高，升華所需要的潛熱可取自物料本身的顯熱。但随着升華的進行，物料溫度很快就降到與幹燥室蒸汽分壓相平衡的溫度，此時，若沒有外界供熱，升華幹燥便停止進行。在外界供熱的情況下，升華所生成的蒸汽如果不及時排除，蒸汽分壓就會升高，物料溫度也随之升高，當達到物料的凍結點時，物料中的冰晶就會融化，冷凍幹燥也就無法進行了。
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