真空泵的工作原理講解-tft每日頭條

一、真空泵分類

真空泵分為氣體輸送泵和氣體吸附或捕集泵。氣體輸送式真空泵可以連續使用，而氣體吸附真空泵具有有限的氣體吸收能力，并且必須在一定的過程時間間隔進行再生。

氣體輸送泵，分為容積式真空泵和動量傳遞式真空泵。容積泵将密封空間中的氣體排到大氣或下級泵中。動量傳遞泵通過機械驅動或蒸汽射流在運動方向對氣體進行加速來抽出氣。氣體吸附真空泵通過吸氣或在合适溫度冷凝氣體的方式将氣體吸附到特别的活性表面上。吸附泵通過蒸發和/或升華或濺射不斷地産生純淨的吸氣面。如果要抽出的氣體粒子在與吸氣面進行相互作用之前在離子泵中被電離了，則它們在濺射清潔吸氣面的同時被濺射的材料掩蓋。非蒸散型吸氣劑 (NEG) 包括高反應性的合金，其主要由锆或钛組成，并且具有非常大的比表面積。氣體可以通過微孔滲透到吸氣材料的深層内部，并在那裡結合成穩定的化合物。

真空泵的工作原理講解（真空泵-工作原理和性能）1

真空泵分類

二、極限壓力與本底壓力

極限壓力：是在無氣體進入的限定條件下由盲闆法蘭連接的真空泵漸進的最低壓力。在極限壓力下，泵的抽速将為零，因為隻有其自身的返流損失将被抽出。極限壓力是理論值。現在用本底壓力代替極限壓力。獲得本底壓力的條件在标準 ISO 21360-1:2012 中有規定。由于必須在指定時間内獲得本底壓力，其通常高于極限壓力。

三、氣鎮

空氣或其他非冷凝氣體通過某種方式被允許進入真空泵，該方式被稱為氣鎮。如果泵内存在相應溫度下無氣鎮會冷凝的蒸汽，則氣鎮使出口閥在蒸汽冷凝前打開，且蒸汽與鎮流氣體一起被排出。大氣以及所選惰性氣體被用作鎮流氣體。氣鎮的使用會略微增加真空泵所能達到的本底壓力。因此，對于氣鎮真空泵，同時規定有氣鎮和無氣鎮的本底壓力。

四、密封氣體

當抽吸腐蝕性氣體時，存在氣體可能破壞泵部件的風險。為了避免該危險，敏感部件必須用連續的惰性氣體流保護起來。因此，泵體内設有特殊的進氣系統，憑借該系統，氣體在規定的位置流入泵系統。在渦輪分子泵中，主要是軸承和電機艙需要保護。在電機艙中吸入密封氣體能夠避免侵蝕性氣體與潤滑劑或軸承中的腐蝕敏感成分發生化學反應以及防止灰塵和粒子進入潤滑劑腔、與潤滑劑混合。使用密封氣體可以保護電機及防止粒子進入和導緻軸與緊急軸承接觸，也建議免潤滑的渦輪分子泵使用

除軸承密封氣體外，幹式前級泵也有淨化氣體注入嘴可注入泵内。淨化氣體流量使用校準噴嘴上遊的壓力調節器或流量調節器 (質量流量控制器或 MFC)進行調節，以及通過壓力傳感器和開關進行監控。