SCCM是質流單位,表示标準毫升每分鐘,與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如:1毫升每秒,代表單位時間流過的體積,而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數,這種單位通常用于化學反應中,如CVD等需要精确控制原子成分比之場合。