形而上學唯物主義即機械唯物主義，它的代表人物有費爾巴哈、拉美特裡、狄德羅、霍爾巴赫、愛爾維修，主要著作有《形而上學導論》、《論物質》、《論人》等。
近代形而上學唯物主義，在總結自然科學成就的基礎上，豐富和發展了唯物主義。但它把物質歸結為自然科學意義上的原子，認為原子是世界的本原，原子的屬性就是物質的屬性，因而具有機械性、形而上學性、曆史觀上的唯心主義等局限性。與古代樸素唯物主義、辯證唯物主義和曆史唯物主義的共同點是都堅持了唯物主義方向，認為物質決定了意識，意識是物質的反映，三者有着不可分割的曆史聯系。
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