生成矽烷。即矽與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲矽烷、乙矽烷和一些更高級的矽氫化合物。目前應用最多的是甲矽烷。一般把甲矽烷簡稱做矽烷。矽烷與水不發生反應。矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,可用于制造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體。矽烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平闆顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規模生産粒狀高純度矽的中間産物。
生成矽烷。即矽與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲矽烷、乙矽烷和一些更高級的矽氫化合物。目前應用最多的是甲矽烷。一般把甲矽烷簡稱做矽烷。矽烷與水不發生反應。矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,可用于制造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體。矽烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平闆顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規模生産粒狀高純度矽的中間産物。