1、光刻機又名掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到矽片上。光刻機的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。
2、光刻機的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，将光束透射過畫着線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，将線路圖成比例縮小後映射到矽片上。然後使用化學方法顯影，得到刻在矽片上的電路圖。
光刻機是幹嘛的
更新时间：2025-03-01 12:24:12
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